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XRF 优点:

a) 分析速度高。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。

b) X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。（气体密封在容器内也可分析）但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定 。

c) 非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。

d) X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。

e) 分析精密度高。

f) 制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。

RoHS测试为例，对台式EDXRF测试结果X进行如下解释：

??元素 单纯的塑胶材料 单纯的金属材料 复合材料

??Cr X<700ppm，可视为满足要求 X<700ppm，可视为满足要求 X<500ppm，可视为满足要求

??X>700ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析 X>700ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析 X>500ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析

??Br X<300ppm，可视为满足要求 —— X<250ppm，可视为满足要求

??X>300ppm无法判断是否满足要求 —— X>250ppm无法判断是否满足要求

??Pb X<700ppm，可视为满足要求 X<700ppm，可视为满足要求 X<500ppm，可视为满足要求

??1300ppm>X>700ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析 1300ppm>X>700ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析 1500ppm>X>500ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析

??X>1300ppm可视为不满足要求 X>1300ppm可视为不满足要求 X>1500ppm可视为不满足要求

??Hg X<700ppm，可视为满足要求 X<700ppm，可视为满足要求 X<500ppm，可视为满足要求

??1300ppm>X>700ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析 1300ppm>X>700ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析 1500ppm>X>500ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析

??X>1300ppm可视为不满足要求 X>1300ppm可视为不满足要求 X>1500ppm可视为不满足要求

??Cd X<70ppm，可视为满足要求 X<700ppm，可视为满足要求 X<70ppm，可视为满足要求

??1300ppm>X>700ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析 1300ppm>X>700ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析 1500ppm>X>500ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析

??X>1300ppm可视为不满足要求 X>1300ppm可视为不满足要求 X>1500ppm可视为不满足要求

??从上述描述可知，XRF适合用于材料是否符合法规要求的快速筛选，XRF的测试属于定性半定量测试，XRF的测试结果不能用于符合性判断的准确结果。